產(chǎn)品展示 Products
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產(chǎn)品展示
質(zhì)量標準:
分子式:CF4 分子量:88
成分 |
規范 |
單位 |
|
CF4 |
≥ |
99.98 |
%V |
空氣 |
≤ |
100 |
ppmv |
H2O |
≤ |
10 |
ppmv |
CO2 |
≤ |
30 |
ppmv |
SF6 |
≤ |
10 |
ppmv |
其它鹵碳化合物 |
≤ |
30 |
ppmv |
酸度(以HF計) |
≤ |
0.3 |
ppmw |
性狀:
四氟化碳為永久氣體,在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭的氣體??諝庵胁蝗紵?,是比較穩定的無(wú)毒物質(zhì)。
用途:
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于電子器件表面清洗,印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
貯存:
陰涼通風(fēng)、遠離熱源、倉溫不宜超過(guò)30℃,空瓶、滿(mǎn)瓶應分開(kāi)存放。
運輸:
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監察規程》的相關(guān)規定。
包裝:
應充裝在經(jīng)特殊處理的潔凈、干燥的無(wú)縫高壓氣瓶中,氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可根據用戶(hù)需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。